第1章　序論
1　DLCとは?DLC標準化の試み　
1.1　DLC膜の広がり　
1.2　DLC膜分類の歴史　
1.3　これからのDLC膜の分類　
1.4　DLC膜評価プロジェクト　
1.5　リサーチクラスター事業の成果　
2　プロセストライボロジーにおけるDLCの位置づけ　
2.1　潤滑油に代わるDLC膜への期待　
2.2　塑性加工工具へ適用するための必要条件　
2.3　DLC膜の密着性向上への取組み状況　
2.3.1　密着性評価試験法　
2.3.2　トライボ試験による密着性評価試験結果　
2.4　DLCコーテッド工具のドライ絞り加工への適用　
3　DLCのつくり方と評価手法の基礎　
3.1　はじめに　
3.2　DLC合成の流れと必要な機材・材料　
3.3　DLC成膜の条件　
3.4　DLC膜の評価　
第2章　機械的応用
1　DLCの機械的応用の概観　
1.1　はじめに　
1.2　有害化学物質に関連する主な規制　
1.3　DLCの用途とその機械的要求性能　
1.4　DLCの摩擦・摩耗特性　
1.5　無潤滑摺動を狙ったDLCコーティング　
1.6　無潤滑切削を狙ったDLCコーティング　
1.7　変形する高分子材料へのDLCコーティング　
1.8　まとめ　
2　DLCの応用についての最新動向　
2.1　金型への応用　
2.2　切削工具への応用　
2.3　機械部品への応用　
2.4　自動車部品への応用　
2.5　医療用部品への応用　
2.6　太陽電池への応用　
2.7　飲料容器への応用　
2.8　装飾品への応用　
2.9　まとめ　
3　パルスDCプラズマCVD法によるDLC膜の合成とその応用　
3.1　はじめに　
3.2　量産型パルスDC-PCVD装置　
3.3　パルスDC-PCVD法で作製したDLC膜の特性　
3.4　DLC膜の応用　
3.5　おわりに　
4　UBMS法によるDLCコーティングの各種応用例　
4.1　UBMS法の原理と特長　
4.2　UBMS法によるDLCコーティングの特性　
4.2.1　皮膜密着性　
4.2.2　硬度制御性　
4.2.3　組成制御性　
4.3　UBMS法によるDLCコーティングの応用例　
4.3.1　部品分野　
4.3.2　金型・工具分野　
5　ホローカソード放電を利用した穴内面へのDLCコーティングとその応用　
5.1　はじめに　
5.2　装置開発の経緯　
5.3　装置構成　
5.4　内面DLCの皮膜特性　
5.5　金型への適用　
5.6　まとめ　
6　直流プラズマCVD法によるDLC-Si膜のトライボ特性と低摩擦機構　
6.1　はじめに　
6.2　直流プラズマCVD法によるDLC-Si成膜技術　
6.3　潤滑油中における低摩擦特性およびその機構　
6.4　おわりに　
7　プラズマブースター法によるDLC合成とその応用　
7.1　はじめに　
7.2　成膜装置とプロセス　
7.3　複合多層DLC(セルテスDLC)被膜の特性　
7.3.1　複合多層構造　
7.3.2　密着力　
7.3.3　硬さとヤング率　
7.3.4　摩擦係数と耐摩耗性　
7.3.5　耐焼付性　
7.3.6　耐熱性　
7.3.7　電気的特性・光学的特性　
7.4　おわりに　
8　PBIID法によるDLC成膜と各種応用　
8.1　はじめに　
8.2　プラズマイオン注入・成膜(PBIID)技術　
8.2.1　PBIID技術　
8.2.2　PBIID動作原理　
8.2.3　PBIID装置　
8.2.4　PBIID技術の特長　
8.3　PBIID技術によるDLC成膜　
8.3.1　PBIIDによるDLC成膜プロセス　
8.3.2　PBIIDによるDLC膜の特性　
8.3.3　DLC膜の特長　
8.4　各種成膜加工法との比較　
8.5　応用　
8.5.1　自動車部品　
8.5.2　金型部品　
8.5.3　機械部品　
8.6　技術課題　
8.7　まとめ　
9　DLC-Siコーティングの4WDカップリング用電磁クラッチへの応用　
9.1　はじめに　
9.2　ITCCの作動原理と要求特性　
9.3　電磁クラッチのトライボロジー特性　
9.3.1　耐シャダー性評価試験　
9.3.2　フルード潤滑下におけるμ-v特性　
9.3.3　DLC-Siクラッチの摩耗特性　
9.4　DLC-Siクラッチの大量処理技術　
9.5　まとめ　
10　ロータリーエンジンへのDLC薄膜合成の応用　
10.1　はじめに　
10.2　ロータリーエンジンの摩耗問題　
10.3　DLC膜の特性　
10.4　DLC成膜条件　
10.5　TOYO-DLCの耐熱性評価　
10.5.1　耐熱特性　
10.5.2　熱伝導率特性と耐熱特性との関係　
10.6　TOYO-DLCの耐摩耗性評価　
10.6.1　硬度　
10.6.2　Si含有量と水素量の関係　
10.6.3　Si含有量とIG/IDおよびヤング率の関係　
10.7　ロータリーエンジンへのDLC適応結果　
10.8　おわりに　
11　FCVA法によるDLC薄膜の作製と磁気ヘッドへのコーティング　
11.1　はじめに　
11.2　FCVA装置　
11.3　ta-C膜　
11.4　C+イオンとta-C薄膜　
11.4.1　C+イオンエネルギーとsp3結合比率　
11.4.2　入射C+イオンの挙動　
11.5　FCVA法における異物対策　
11.5.1　中性異物対策　
11.5.2　荷電性異物対策　
11.5.3　リアルタイムパーティクルフィルタ　
11.6　ta-C薄膜信頼性試験　
11.6.1　耐摩耗性評価　
11.6.2　耐燃焼性評価　
11.6.3　耐腐食性評価　
11.7　おわりに　
12　切削工具における環境問題とドライ加工　
12.1　はじめに　
12.2　ドライ加工用切削工具に適したDLC膜　
12.3　各種被膜とアルミニウム合金の摺動特性　
12.4　DLCコーティングドリルの切削事例　
12.5　今後の切削工具用途の膜開発　
第3章　電気的・光学的・化学的応用
1　屈折率変化a-C:H膜　
1.1　はじめに　
1.2　回折光学素子　
1.3　a-C:H膜の屈折率変化　
1.4　屈折率変調型回折光学素子の設計　
1.5　おわりに　
2　アモルファス炭素系膜のLow-K膜としての特性　
2.1　はじめに　
2.2　低誘電率膜への要求　
2.3　各種カーボン系低誘電率材料　
2.3.1　ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜　1
2.3.2　アモルファスカーボン　
2.3.3　ナノダイヤモンド　
2.3.4　CNx膜　
2.3.5　BN,BCN膜　
2.4　まとめ　
3　DLCコーティングのカテーテル,ステントへの適用　
3.1　はじめに　
3.2　カテーテルおよびガイドワイヤー　
3.3　ステント　
3.4　おわりに　
4　DLCのガスバリア性とその応用　
4.1　PETボトルへのガスバリア機能付与技術　
4.2　α-C:H膜の利用　
4.3　PETフィルムへのアモルファス炭素膜の成膜　
4.4　まとめ　
第4章　次世代応用のためのDLC基盤技術
1　PBII法によるマイクロ部材へのDLCコーティング　
1.1　はじめに　
1.2　細管内壁用PBII装置の構成　
1.3　細管内壁へのイオン注入とDLC膜作製　
1.4　おわりに　
2　大気圧DLC成膜技術　　
3　真空アーク蒸着(VAD)法による低ドロップレットDLC膜の合成と特性評価　
3.1　はじめに　
3.2　低ドロップレットDLC膜の合成　
3.2.1　磁場によるアークプラズマの輸送　
3.2.2　磁場による陰極放電点の操蛇　
3.2.3　物理的・電気的シールドの設置　
3.2.4　アーク放電生成条件の制御　
3.3　真空アーク蒸着DLC膜の特性評価　
4　Si-DLC膜の水中でのトライボロジー特性　
4.1　はじめに　
4.2　水中におけるSi-DLC膜のトライボロジー特性　
4.3　DLC膜とSi-DLC膜の多層化膜　
4.4　摩耗面の評価　
4.5　まとめ　
5　セグメント構造DLC膜の合成と機械部材への応用　
5.1　はじめに　
5.2　セグメント構造DLC膜の合成　
5.3　セグメント構造DLC膜の評価　
5.4　DLCの機能複合化　
5.5　まとめ　
6　DLC皮膜の機械的性質と原子構造　
6.1　はじめに　
6.2　DLC皮膜の機械的性質と原子構造　
6.2.1　皮膜の作製　
6.2.2　皮膜の構造　
6.2.3　皮膜中の水素量　
6.2.4　皮膜の硬度　
6.2.5　皮膜の摺動特性　
6.3　おわりに　
7　DLCの耐摩耗性評価法の基礎　
7.1　はじめに　
7.2　摩擦・摩耗メカニズムから見たDLCの特徴　
7.2.1　摩擦のメカニズム　
7.2.2　摩耗のメカニズム　
7.3　摩耗評価方法　
7.3.1　一般的な摩耗評価方法　
7.3.2　摩耗特性評価試験で注意すべき点　
7.3.3　耐摩耗性と密着性　
7.4　おわりに　
8　プロセス・トライボロジーとしてのDLC膜の適用可能性評価　
8.1　塑性加工プロセスにおけるトライボロジー条件　
8.2　最近のDLCの適用例　
8.3　鍛造加工へのDLC工具適用の可能性評価　
8.4　ボール通し試験　
8.5　まとめ　
9　マイクロ成形加工用金型へのコーティングとその特性評価　
9.1　はじめに　
9.2　マイクロ金型へのコーティング　
9.3　静押込み荷重試験によるマイクロ領域での密着性評価　
9.4　マイクロトライボロジー特性評価　
9.5　マイクロ金型に適した多層構造DLC膜　
9.6　まとめ　
10　DLCおよびその関連物質の水素脱吸着特性　
10.1　DLC膜のクラスターモデル　
10.2　DLC膜からの水素離脱　
10.3　DLC膜の吸蔵水素　
10.3.1　吸蔵水素測定法　
10.3.2　DLCおよび関連物質の水素吸蔵特性　
11　DLC膜の生体適合性評価　
11.1　はじめに　
11.2　生体内留置試験によるDLC膜の病理組織学的評価　
11.3　生体内留置試験によるDLC膜の安定性評価　
11.4　まとめ　
12　DLC合成用パルス電源　　
12.1　パルス電源の基礎と特徴　
12.2　パルス電源の方式と特徴　
12.3　DLC合成用パルス電源の現状　
第5章　次世代応用のためのDLC先端技術
1　フィルタードアーク蒸着法によるDLC膜の合成と特性評価　
1.1　はじめに　
1.2　フィルタードアーク蒸着法　
1.3　T-FAD生成のDLC膜　
1.4　おわりに　
2　DLC系ナノコンポジット膜の合成とそのトライボロジー特性　
2.1　はじめに　
2.2　ナノ粒子分散構造膜　
2.3　ナノ積層構造膜　
2.4　DLC/硫化物系ナノコンポジット膜　
2.5　まとめ　
3　DLC薄膜の水素遮断性　
3.1　はじめに　
3.2　水素遮断性評価試料の作製　
3.3　透過法による水素遮断性の評価　
3.4　水素透過量測定結果　
3.5　拡散方程式による検討　
3.6　まとめ　
4　セグメント構造DLC膜の超音波モータの摩擦駆動面への応用　
4.1　はじめに　
4.2　弾性表面波リニアモータ　
4.3　DLC膜の導入　
4.4　駆動特性　
4.5　おわりに　
5　FIBによる自立体DLC膜の加工と応用　
5.1　はじめに　
5.2　内部応力を低減したDLC自立体の製作　
5.3　DLC自立体の加工特性　
5.4　FIBによるマイクロギヤの加工と組み立て　
6　集束イオンビームによる立体ナノ構造形成技術とその応用　
6.1　はじめに　
6.2　立体ナノ構造形成方法　
6.3　ナノエレクトロメカニクスへの応用　
6.3.1　空中配線の作製と評価　
6.3.2　静電ナノマニピュレータ　
6.3.3　ナノスプリング　
6.4　ナノオプテイクス(自然生物の擬似ナノ構造作製とその光学的評価)　
6.5　ナノバイオへの応用　
6.6　まとめ　
第6章　総括　
1　DLCの未来